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논문 기본 정보

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학술저널
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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제6권 제2호
발행연도
1997.5
수록면
114 - 121 (8page)

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투명전도성 산화주석 박막이 펄스레이저증착에 의하여 파이렉스유리 기판상에 제조되었다. 진공, O₂ 및 Sn(CH₃)₄ 분위기에서 Nd-YAG 레이저 빛살이 다결정 SnO₂ 타켓을 융제하여 실온에서 기판상에 박막을 증착시키고, 증착된 막을 230, 420, 및 610℃에서 각각 2시간 동안 공기중에서 열처리하였다. 박막의 특성이 UV-VIS-NIR 분광법와 X-선 회절법에 의하여 조사되고, 전기적 성질이 촉심식법으로 구해진 막의 두께와 함께 사점 탐침법에 의하여 측정되었다. Sn(CH₃)₄이 존재할 때 SnO₂ 상들이 실온에서조차 성장되는 것이 관찰되었다. 이는 레이저 융제 동안 발생된 마이크로플라즈마가 전구물질분자의 분해에 중요한 역할을 함을 시사한다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 실험방법

3. 결과 및 고찰

4. 결론

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