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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2019.11
- 수록면
- 1,465 - 1,469 (5page)
- DOI
- 10.5370/KIEE.2019.68.11.1465
이용수
이 논문의 연구 히스토리 (3)
2020
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In the case of display PECVD, VHF is introduced as the driving frequency. In addition, since the electrode shape has a large area rectangular structure, nonuniformity caused by the standing wave effect and skin effect occurs. In this case, even small changes in the process variables affect the nonuniformity. Against this we propose the electric field control method using guide ring as a part of reduction effect and fine tuning. Using the guide ring, the electrical influence and the optimization method were confirmed by the response surface Methodology and Taguchi experiment. It is considered that fine tuning is possible by utilizing the electrical properties of each factor.
목차
Abstract
1. 서론
2. 이론 및 평가
3. 결론
References
참고문헌 (8)
참고문헌 신청
A. Perret / 2003 / Ion flux nonuniformities in large-area highfrequency capacitive discharges / Applied Physics Letters 83:243
L. Sansonnens / 2003 / Shaped electrode and lens for a uniform radio-frequency capacitive plasma / Applied Physics Letters 82(2):182~184
H. Mashima / 2006 / Large area VHF plasma production using a ladder-shaped electrode / Thin Solid Films 506-507:512~516
M. A. Lieberman / 2002 / Standing wave and skin effects in large area, high frequency capacitive discharges / Plasma Sources Sci. Technol 11:283
A. A. Howling / 2007 / Electromagnetic sources of nonuniformity in large area capacitive reactors / Thin Solid Films 515:5059~5064
L. Sansonnens / 2003 / Shaped electrode and lens for a uniform radio-frequency capacitive plasma / Applied Physics Letters 82(2):182~184
H. Mashima / 2006 / Large area VHF plasma production using a ladder-shaped electrode / Thin Solid Films 506-507:512~516
M. A. Lieberman / 2002 / Standing wave and skin effects in large area, high frequency capacitive discharges / Plasma Sources Sci. Technol 11:283
A. A. Howling / 2007 / Electromagnetic sources of nonuniformity in large area capacitive reactors / Thin Solid Films 515:5059~5064
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