Stack 기술을 이용한 향상된 감내 특성을 갖는 SCR 기반 ESD 보호 소자에 관한 연구

곽재창

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자료유형: 학술저널

저자정보: 곽재창 (Seokyeong University)

저널정보: 한국전기전자학회 전기전자학회논문지 전기전자학회논문지 제23권 제3호

발행연도: 2019.9

수록면: 1,015 - 1,019 (5page)

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본 논문에서는 트리거 전압과 감내 특성을 개선시키기 위해 HHVSCR의 구조적 변경을 바탕으로 Stack 기술을 적용한 새로운 ESD 보호 소자를 제안한다. 우선 HHVSCR과 제안된 ESD 보호 소자를 비교하여 트리거 전압과 홀딩 전압, 감내 특성을 확인하였고 게이트 길이에 대한 변수를 추가하였다. 마지막으로, 제안된 ESD 보호 소자와 Stack을 적용한 소자를 비교하여 트리거 전압과 홀딩 전압, 감내 특성을 비교하였다.

#HHVSCR #Stack #Trigger voltage #Holding voltage #Robustness

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