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TFT-LCD의 구조불량이 발생한 박막 트랜지스터에 대해서 집
속이온빔 가공장치(Dual-beam FIB/SEM)를 이용하여 연속절편
법(Serial sectioning)과 일련의 연속적인 2차원 주사전자현미경
이미지를 얻었고, IMOD 소프트웨어를 통해서 3차원 구조구현
(3D reconstruction) 연구를 하였다. 3차원 구조구현 결과, Gate막
과 Data막이 접합되어 있는 불량이 관찰되었다. 두 막이 접합되
어서 ON/OFF 역할을 하는 Gate의 기능이 상실되었고, Data신호
는 Drain을 통해서 투명전극에 전류를 공급하여 계속 빛나는 선
불량(line defect)이 발생한 것으로 판단된다. 이 논문의 결과인
집속이온빔 가공장치(Dual-Beam FIB/SEM)를 이용한 3차원 구
조구현 연구와 연속절편법, 주사전자현미경 이미지작업, 이미지
프로세싱에 대한 결과는 향후 연구의 기초자료로 활용될 수 있
을 것으로 판단된다.
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참고문헌 (9)
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Groeber MA / 2006 / 3D reconstruction and characterization of polycrystlline microstructures using a FIB-SEM system / Materials Characterization 57 : 259 ~ 273
Inkson B / 2001 / 3D determination of grain shape in a FeAl-based nanocomposite by 3D FIB tomography / Scripta Materialia 45 : 753 ~ 758
Wu HZ / 2003 / Subsurface damage analysis by TEM and 3D FIB crack mapping in alumina and alumina/5vol.%SiC nanocomposites / Acta Materialia 51 : 149 ~ 163
권오경 / 2003 / 고해상도 TFT-LCD 구동방법 / 한국정보디스플레이학회지 4 (6) : 16 ~ 20
김정현 / 2001 / TFT-LCD의 고개구율 기술 동향 / 한국정보디스플레이학회지 2 (1) : 36 ~ 44
Inkson B / 2001 / 3D determination of grain shape in a FeAl-based nanocomposite by 3D FIB tomography / Scripta Materialia 45 : 753 ~ 758
Wu HZ / 2003 / Subsurface damage analysis by TEM and 3D FIB crack mapping in alumina and alumina/5vol.%SiC nanocomposites / Acta Materialia 51 : 149 ~ 163
권오경 / 2003 / 고해상도 TFT-LCD 구동방법 / 한국정보디스플레이학회지 4 (6) : 16 ~ 20
김정현 / 2001 / TFT-LCD의 고개구율 기술 동향 / 한국정보디스플레이학회지 2 (1) : 36 ~ 44
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