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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제29권 제7호
발행연도
2016.1
수록면
408 - 413 (6page)

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다양한 색상의 반투명 박막 태양전지에 적용하는 유전체 박막에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. 본 연구에서는 유전체 박막을 대신하여 마그네트론 스퍼터링을 이용하여 GeSbTe 및 GeTe 칼코겐화물 박막을 형성 시키고, 그 광학적 특성 및 상변화 특성을 고찰하였다. 표면 형상, 면저항, 및 X선 회절 패턴의 변화를 관찰한 결과 GeTe 박막의 비정질 상 안정성이 GeSbTe 박막보다 더 우수하다는 사실을 확인하였다. 두께가 30 nm 이하인 비정질 GeSbTe 및 GeTe 박막은 투과율이 5% 이상이고 60% 이하인 투명도를 나타내었으며, GeTe 박막이 GeSbTe 박막보다 가시광선을 더 잘 투과하였다. 시뮬레이션을 통하여 GeTeSb 또는 GeTe 박막을 반투명 실리콘 박막 태양전지에 적용하면 셀의 색상 변화가 가능하다는 사실을 확인하였다. 상변화 특성을 적용하면 태양전지의 명암 변화도 가능하기 때문에 두 종류의 칼코겐화물 박막은 반투명 태양전지에서 광학 층으로서의 응용이 기대된다.

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