나노스케일 박막의 표면주름 형성을 통한 산란반사도 향상

김윤영

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자료유형: 학술저널

저자정보: 김윤영 (동의대학교)

저널정보: 대한기계학회 대한기계학회 논문집 A권 대한기계학회논문집 A권 제39권 제12호

발행연도: 2015.12

수록면: 1,245 - 1,249 (5page)

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본 연구에서는 나노스케일 박막의 표면주름 형성에 의한 산란반사도 향상을 평가하였다. 실리콘 기판 위에 120 nm 두께의 Poly(methyl metacrylate) 층을 스핀코팅(spin-coating)한 후, 20 nm 의 알루미늄 박막을 증착하여 시편을 제작하였다. 이를 오븐에서 95°C 의 온도로 2 시간 동안 풀림처리하여 표면주름을 형성하였다. 분광광도계로 가시광선 영역의 산란반사도를 측정한 결과 400 nm 파장에서 40%의 증가를 보였으며, 표면주름 위에 100 nm 의 은박막을 추가적으로 증착한 경우 산란반사도가 50%까지 향상되는 것을 확인하였다. 본 연구는 산란반사도의 증대를 요구하는 박막형 소자에 표면주름을 활용할 수 있음을 제시한다.

#Diffuse Reflectance(산란반사도) #Thin-Film(박막) #Wrinkle(주름)

참고문헌 (9)

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[단행본] - Allen, H. G. / 1969 / Analysis and design of structural sandwich panels / Pergamon

[학술대회논문] - Yoon, J. S. / 2010 / An Experimental Study on Fabrication of Micro Patterns from Surface Wrinkling of Photoresist Layer / Proc. KSME 2010 Annual Fall Meeting : 4294 ~ 4297

[학술대회논문] - Kang, S. H. / 2010 / Self-organized Anisotropic Wrinkle Structures by Plasma Treatment of an Aligned Liquid Crystalline Polymer / Proc. KSME 2010 Annual Fall Meeting : 4236 ~ 4239

[학술대회논문] - Choi, H. –J. / 2007 / A Study on Estimating Elastic Modulus of Nano-scale Metal Thin Films on a Polymeric Substrate / Proc. KSME Annual Fall Meeting : 12 ~ 16

[학술지(정기간행물)] - Cho, J. –S. / 2011 / Texturing of Sputtered ZnO:Al/Ag Back Reflectors for Flexible Silicon Thin-film Solar Cells / Sol. Energy Mater. Sol. Cells 95 : 1852 ~ 1858

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