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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2015.1
- 수록면
- 79 - 84 (6page)
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본 논문에서는 헤테로 애피택시(heteroepitaxy) 박막의 표면확산계수를 국부적으로 제어하여 표면에서 형성되는 나노구조물이 정렬되는 과정을 수치해석적으로 연구하였다. 격자 불일치 물질계(lattice-mismatched materials system)의 탄성변형에너지와 표면자유에너지, 그리고 습윤에너지를 고려하여 박막의 변형거동에 대한 지배방정식을 도출하였으며, 확산계수의 활성화 조건이 성장에 미치는 영향을 살펴보았다. 해석결과는 주기함수 형식으로 표면확산계수를 제어하면 표면구조물이 배열 형태로 정렬됨을 나타내며, 이는 노광 및 식각 과정을 거쳐야 하는 포토리소그래피(photolithography)로부터 탈피한 바텀업(bottom-up) 방식의 공정방법에 규칙성을 부여하여 차세대 나노기기의 개발에 일조할 것으로 기대된다.
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Asaro, R.J. / 1972 / Surface Morphology Development during Stress Corrosion Cracking:Part I. Via Surface Diffusion / Metall. Trans. 3 : 1789 ~ 1796
Freund, L.B. / 1995 / Evolution of Waviness on the Surface of a Strained Elastic Solid due to Stressdriven Diffusion / International J. Solids & Struct. 32 : 911 ~ 923
Gao, H. / 1994 / Some General Properties of Stressdriven Surface Evolution in a Heteroepitaxial Thin Film Structure / J. Mech. & Phys. Solids 42 : 741 ~ 772
Grinfeld, M.A. / 1986 / Instability of the Interface between a Non-hydrostatically Stressed Elastic Body and Melts / Doklady Akademii Nauk SSSR 290 : 1358 ~ 1363
Hull, R. / 1999 / Germanium Silicon:Physics and Materials / Academic Press
Freund, L.B. / 1995 / Evolution of Waviness on the Surface of a Strained Elastic Solid due to Stressdriven Diffusion / International J. Solids & Struct. 32 : 911 ~ 923
Gao, H. / 1994 / Some General Properties of Stressdriven Surface Evolution in a Heteroepitaxial Thin Film Structure / J. Mech. & Phys. Solids 42 : 741 ~ 772
Grinfeld, M.A. / 1986 / Instability of the Interface between a Non-hydrostatically Stressed Elastic Body and Melts / Doklady Akademii Nauk SSSR 290 : 1358 ~ 1363
Hull, R. / 1999 / Germanium Silicon:Physics and Materials / Academic Press
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