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논문 기본 정보

자료유형
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저자정보
저널정보
한국전기전자재료학회 Transactions on Electrical and Electronic Materials Transactions on Electrical and Electronic Materials 제11권 제2호
발행연도
2010.1
수록면
61 - 64 (4page)

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In this paper, we investigate the quality difference of SiC crystals grown by a conventional physical vapor transport method using various SiC powders. While the growth rate was revealed to be dependent upon the particle size of the SiC powder, the growth rate of SiC bulk crystals grown using SiC powder with a smaller particle size (20 nm) was definitely higher than those using lager particle sizes with 0.1-0.2 μm and 1-10 μm, respectively. All grown 2 inch SiC single crystals were proven to be the polytype of 6H-SiC and the carrier concentration levels of about 1017 cm3 were determined from Hall measurements. It was revealed that the particle size and process method of SiC powder played an important role in obtaining a good quality, high growth rate, and to reduce growth temperature.
#Sublimation #SiC powder #Growth rate #Crystal quality

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S. Ota / 2004 / / Mater. Sci. Forum 457 : 115 ~ google schola V. Ramachandran / 1998 / / J. Electron. Mat. 27 : 308 ~ google schola Y. Kitou / 2002 / / Mater. Sci. Foru 389 : 83 ~ google schola Y. M. Tairov / 1978 / / J. Crystal Growth 43 : 209 ~ google schola Y. M. Tairov / 1981 / / J. Crystal Growth 52 : 146 ~ google schola

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