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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 저널정보
- 한국전기전자재료학회 Transactions on Electrical and Electronic Materials Transactions on Electrical and Electronic Materials 제6권 제4호
- 발행연도
- 2005.1
- 수록면
- 149 - 153 (5page)
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In this paper, we investigated the island density-dependent stress distribution of indium-tin-oxide (ITO) film on polycarbonate substrate by external bending force. We used e-beam and RF-sputter for SiON, ITO sputtering. It was found that there are influence of island density on the substrate and decreasing crack density as goes to the minimum density. From the result that crack density was increasing at maximum island density, it is evident that more stress is imposed on same island position as island density.
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/ 1999. / Mechanics of rollable and foldable film-on-foil electronics 74 (8) : 1177 ~
/ 2000. / Strain-dependent electrical resistance of tin-doped indium oxide on polymer substrate (11) : 1425 ~
/ 2001. / Statistical analysis of multiple cracking phenomenon of a SiOx thin film on a polymer substrate 90 (2) : 713 ~
/ 2002. / Figure of merit for deposition conditions in ITO Films 3. no. 2 : 6 ~
/ 2002. / Improvement of mechanical property of indium-tin-oxide films on polymer substrates by using organic buffer layer 3. no. 2 : 32 ~
/ 2000. / Strain-dependent electrical resistance of tin-doped indium oxide on polymer substrate (11) : 1425 ~
/ 2001. / Statistical analysis of multiple cracking phenomenon of a SiOx thin film on a polymer substrate 90 (2) : 713 ~
/ 2002. / Figure of merit for deposition conditions in ITO Films 3. no. 2 : 6 ~
/ 2002. / Improvement of mechanical property of indium-tin-oxide films on polymer substrates by using organic buffer layer 3. no. 2 : 32 ~
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