탄소나노튜브 전극으로부터 전계방출을 이용한 가스센서의 응용

김성진

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자료유형: 학술저널

저자정보: 김성진

저널정보: 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제19권 제5호

발행연도: 2006.1

수록면: 405 - 410 (6page)

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We fabricated gas sensors using carbon nanotubes (CNTs) as electron emitters for the purpose of detecting inert gases. By using the silicon-glass anodic bonding and glass patterning technologies with the typical Si process, we improved the compactness of the sensors and the reliability in process. The proposed sensor, based on an electrical discharge theory known as Paschen's law in principle, works by figuring the variation of the discharge current depending on gas concentration. In the experiment, the initial breakdown characteristics were measured for air and Ar as a function of gas pressure. As the result, even though it should be realized that there are many other factors which have an effect on the breakdown of a gap, the sensors led to similar result as predicted by Paschen's law, and they showed a possibility as gas sensors which enable to detect the gas density ranged to the vacuum pressure from 1 to 10-3 Torr.

#Carbon nanotubes #Field emission #Gas sensors #Air #Argon

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/ 1995. / A carbon nanotube field-emission electron source 270 : 1179 ~

/ 1996. / A simple and robust electron beam source from carbon nanotubes 69 : 1969 ~

/ 1996. / Electron physics of vacuum and gaseous devices : 385 ~

/ 1998. / Single- and multi-wall carbon nanotube field-effect transistors 73 : 2447 ~

/ 2000. / Nanotube molecular wires as chemical sensors 287 : 622 ~

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