지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2009.1
- 수록면
- 29 - 34 (6page)
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
PLZT thin films were deposited on platinized silicon (Pt/Ti/SiO₂/Si) substrate by RF magnetron sputtering. A TiO₂ buffer layer was fabricated, prior to deposition of PLZT films. the layer was strongly affected the crystallographic orientation of the PLZT films. X-ray diffraction was performed on the films to study the crystallization of the films as various substrate temperatures (Ts). According to increasing Ts, preferred orientation of films was changed (110) plane to (111) plane. The ferroelectric, dielectric and electrical properties of the films were also investigated in detail as increased substrate temperatures. The PLZT films deposited at 400 ℃ showed good ferroelectric properties with the remnant polarization of 15.8 µC/㎠ and leakage current of 5.4×10-9 A/㎠.
목차
등록된 정보가 없습니다.
참고문헌 (18)
참고문헌 신청
A. Purice / 2006 / Ferroelectric thin films obtained by pulsed laser deposition / Journal of the European Ceramic Society 26 : 2937 ~
C. Y. Kang / 1998 / Electrical and optical characteristics of X/65/35 (X=6~11) PLZT thin films prepared by sol-gel method / J. of KIEEME(in Korean) 11 : 237 ~
G. Leclerc / 2006 / Elaboration of (111)-oriented La-doped PZT thin films on platinized silicon substrates / Applied Surface Science 253 : 1143 ~
H. Linxiang / 2007 / Fabrication and properties of PLT/PLZT/PLT structures obtained by RF magnetron sputtering / Solid State Communications 142 : 472 ~
H. Shigeki / 1995 / Effect of substrate temperature on electrical characteristics of (Pb,La)(Zr,Ti)O3 ultrathin films deposited by metalorganic chemical vapor deposition / Jp
C. Y. Kang / 1998 / Electrical and optical characteristics of X/65/35 (X=6~11) PLZT thin films prepared by sol-gel method / J. of KIEEME(in Korean) 11 : 237 ~
G. Leclerc / 2006 / Elaboration of (111)-oriented La-doped PZT thin films on platinized silicon substrates / Applied Surface Science 253 : 1143 ~
H. Linxiang / 2007 / Fabrication and properties of PLT/PLZT/PLT structures obtained by RF magnetron sputtering / Solid State Communications 142 : 472 ~
H. Shigeki / 1995 / Effect of substrate temperature on electrical characteristics of (Pb,La)(Zr,Ti)O3 ultrathin films deposited by metalorganic chemical vapor deposition / Jp
함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
Effects of Various Substrate Temperatures on the Properties of PLZT Thin Films Deposited by RF Magnetron Sputtering
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2008 .06
-
X/65/35 PLZT 강유전 박막의 전기 및 광학 특성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1994 .11
-
전계 인가에 따른 PLZT 강유전체의 유전특성 및 전기열량 효과
전기전자재료학회논문지
2016 .01
-
Pt / Ti / Si 기판위에 증착한 PLZT박막의 형성 및 그 특성 ( Formation and Characteristics of PLZT thin film deposited on Pt / Ti / Si substrate )
대한전자공학회 학술대회
1993 .07
-
Color Filtering Properties of 9.5/65/35/PLZT
전기학회논문지
1993 .05
-
9/65/35 PLZT 박막의 유전적, 전기적 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
1994 .07
-
La 농도에 따른 PLZT(x/30/70) 박막의 피로 특성에 관한 연구
한국정보통신학회논문지
2005 .08
-
PLD 법으로 제작된 PLZT 박막의 산소압에 따른 구조 및 전기적 특성
Journal of Advanced Marine Engineering and Technology (JAMET)
2006 .11
-
The Ferroelectric Properties of (Pb1.1La0.08)(Zr0.65Ti0.35)O₃ (PLZT) Thin Films Deposited as Ar/O₂ Partial Pressure Ratio by RF-Magnetron Sputtering Method
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2008 .06
-
Pt/Ti/Si 기판위에 증착한 PLZT박막의 형성 및 그 특성
대한전자공학회 학술대회
1993 .07
-
투명 PLZT 세라믹의 전기적 및 광 메모리 특성
전기학회논문지
1987 .07
-
PLZT세라믹의 전기광학 특성
전기학회논문지
1985 .10
-
PLZT 세라믹의 전기광학소자특성에 관한 연구 ( A Study on the Electro-Optic Device Characteristics of PLZT Ceramics )
한국통신학회논문지
1998 .11
-
메모리 영역내에서 제작된 PLZT 소자의 전기적특성 및 광투과도에 관한 연구
전기학회논문지
1984 .04
-
메모리 영역 내에서 제작된 PLZT 소자의 전기적 특성 및 광투과도에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1983 .07
-
La의 양이 PLZT 세라믹의 전기광학 특성에 미치는 영향
전기학회논문지
1987 .08
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0