Oxygen Ion Beam Assisted Deposition법에 의해 형성된 AC PDP용 MgO 보호막의 특성 연구

권상직; 이조휘

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자료유형: 학술저널

저자정보: 권상직 이조휘

저널정보: 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제20권 제7호

발행연도: 2007.1

수록면: 615 - 619 (5page)

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MgO layer plays an important role for plasma display panels (PDPs). In this experiment, ion beam assisted deposition (IBAD) methode was uesed to deposit a MgO thin film and the assisting oxygen ion beam energy was varied from 100 eV to 500 eV. In order to investigate the relationship between the secondary electron emission and the defect levels of the MgO layer, we measured the cathodoluminescence (CL) spectra of the MgO thin films, and we analyzed the CL peak intensity and peak transition. The results showed that the assisting ion beam energy played an important role in the peak intensity and the peak transition of the CL spectrum. The properties of MgO thin film were also analyzed using XRD and SEM, these results showed the assisting ion beam energy had direct effect on characteristics of MgO thin film.

#Plasma display panel #PDP) #MgO #Ion beam assisted deposition #IBAD) #Secondary electron emission coefficient #F/F+ center

참고문헌 (10)

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G. H. Rosenblatt / 1989 / Luminescence of F and F+ centers in magnesium oxide / Phys. Rev. B 39 (14) : 10309 ~

G. P. Summers / 1983 / Luminescence from oxygen vacancies in MgO crystals thermochemically reduced at high temparatures / Phys. Rev. B 27 (2) : 1283 ~

H. D. Hagstrom / 1954 / Theory of Auger ejection of electrons from metal by ions / Phys. Rev. 96 (2) : 336 ~

H. D. Hagstrom / 1960 / Theory of Auger neutralization of ions at the surface of a diamond-type semiconductor / Phys. Rev. 122 (1) : 83 ~

M. A. Cazalilla / 1998 / Theory of Auger neutralization and de-excitation of slow ions at metal surfaces / Phys. Rev. B 58 (20) : 13911 ~

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