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대한전자공학회 전자공학회논문지-SD 電子工學會論文誌 SD編 第44卷 第12號
발행연도
2007.12
수록면
12 - 17 (6page)

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본 연구에서는 전자빔 증착의 증착률이 MgO 보호막의 특성과 제작된 PDP의 방전 특성에 주는 영향에 대하여 연구, 분석하였다. MgO 박막을 여러 조건의 증착률로 증착하였고, 이 후 결정 구조, 표면 거칠기, 박막 구조와 같은 특성을 XRD, AFM 등을 사용하여 측정, 평가 하였다. 실험 결과와 Paschen law을 통해서 5 A/sec의 증착률에서 이차전자방출이 최대가 되는 것을 확인할 수 있었으며, 동일 조건에서 방전 전압이 가장 작고, 발광 효율은 가장 큰 값을 갖는 것이 확인되었다. 또한 5A/sec의 (200) 결정 방향과 F? center 측정값도 가장 높게 측정되었다. XRD와 CL 스펙트럼의 결과를 통하여 이차전자방출계수가 MgO 박막의 분자 결정상의 F/F+ centers구조와 관련 있음을 확인할 수 있었다.

목차

요약
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험
Ⅲ. 실험결과
Ⅳ. 결론
참고문헌
저자소개

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