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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제21권 제5호
발행연도
2008.1
수록면
486 - 491 (6page)

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The plasma processing is applied to many industrial fields as thin film deposition or surface treatment technique. In this study, we investigated large-area uniformed surface treatment of PET film at low temperature by using Scanning Plasma Method(SPM). Then, we measured difference and distribution of temperature on film's surface by setting up a thermometer. We studied the condition of plasma for surface treatment by examining intensity of irradiation of uniformed plasma. And we compared contact angles of treated PET film by using Ar and O₂ plasma based low temperature. In our result, surface temperature of 3-point of treating is low temperature about 22 ℃, in other hands, there is scarcely any variation of temperature on film's surface. And by using Ar plasma treatment, contact angle is lower than untreatment or O₂ plasma treatment. In case of PET film having thermal weak point, low temperature processing using SPM is undamaged method in film's surface and uniformly treated film's surface. As a result, Ar plasma surface treatment using SPM is suitable surface treatment method of PET film.

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