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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제21권 제7호
발행연도
2008.1
수록면
594 - 598 (5page)

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The metal catalyst particles which there is as impurities on a tip part of carbon nanotube (CNT) are not good to apply it to a nano-electronic device. It was very important the opening of CNT-tip to fix a target bio material and a material to accept in CNT in a biosensor, so we performed HNO3 wet etching to remove the metal catalyst particle which there was on a tip part of CNT grown up in the study and observed the opened CNT-tip with etching time. We synthesized the CNTs using a HF-PECVD method and choses the CNT length of 700 nm for the application of nano-electronic device such as a biosensor etc.. We observed the opened CNT-tip with wet etching times of HNO3 (10, 30, 60 min). From the results, we observed that the CNT-tip was opened with the increase of wet etching time lively. In case of CNTs etched during 60 min, we confirmed that there was not the ratio of Ni included in CNTsI as catalyst. Conclusively, in the case of CNT etched for 60 minutes, it is completely good for application of a biosensor and, in addition, the metal-free CNTs will contribute to the application of other nanoelectronic devices.
#Wet etching #HF-PECVD #CNT-tip opening

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A. Javey / 2004 / Carbon nanotube field-effect transistors with integrated ohmic contacts and high-k gate dielectrics / Nano Letters 3 : 447 ~ google schola A.T. Charlie Johnson / 2006 / DNA-decorated carbon nanotubes for chemical sensing / Phys. Stat. Sol 243 : 3252 ~ google schola Colomer, J.F. / 1999 / Different purification methods of carbon nanotubes produced by catalytic synthesis / Synthetic Metals 103 (1-3) : 2482 ~ google schola S. Iijima / 1991 / Helical microtubules of graphitic carbon / Nature 354 : 56 ~ google schola S. Xie / 2000 / Mechanical and physical properties on carbon nanotube / Journal of Physical and Chemistry of Solids 61 : 1153 ~ google schola

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