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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제16권 제11호
발행연도
2003.1
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The Bi2Sr2CanCun+1Ox superconducting thin films are fabricated by using the sputtering and evaporation method. Because we confirmed the sticking ratio of Bi element in the Bi2Sr2CanCun+1Oxsuperconducting thin film fabricated by using the sputtering method was much lower than the expected value, to get the enough number of the flakes of Bi, faraday cup was used to evaporate Bi element. As a result of the fabrication, Bi 2201 and Bi 2212 single phases could be made by the optima of deposition condition. And we confirmed the sticking coefficient of Bi element was clearly related to the temperature change of the substrate and the generation of Bi2212 phase.
#Sputtering system #Evaporation system #Bi2Sr2CanCun+1Ox thin film #Bi 2201 phase #Bi 2212 phase

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