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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제19권 제6호
발행연도
2006.1
수록면
507 - 511 (5page)

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We investigated accelerated soft error rate (ASER) in static random access memory (SRAM) cells of thin film transistor (TFT) type. The effects on ASER by cell density, buried nwell structure, operational voltage, and polysilicon-2 layer thickness were examined. The increase in the operational voltage, and the decrease in the density of SRAM cells, respectively, resulted in the decrease of ASER values. The SRAM chips with buried nwell showed lower ASER than those with normal well structure did. The ASER decreased as the test distance from alpha source to the sample increased from 7 ㎛ to 15 ㎛. As the polysilicon-2 thickness increased up to 1000 Å, the ASER decreased exponentially. In conclusion, the best condition for low soft error rate, which is essential to obtain highly reliable SRAM device, is to apply the buried nwell structure scheme and to fabricate thin film transistors with the thick polysilicon-2 layer.

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