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A threshold voltage model of SiC N-channel MOSFETs for high-temperature and hard radiation environments has been developed and verified by comparing with experimental results. The proposed model includes the difference in the work functions, the surface potential, depletion charges and SiC/SiO2 acceptor-like interface state charges as a function of temperature. Simulations of the model showed that interface states were the most dominant factor for the threshold voltage decrease as the temperature increase. To verify the model, SiC N-chnnel MOSFETs were fabricated and threshold voltages as a function of temperature were measured and compared with model simulations. From these comparisons, extracted density of interface states was 4×1012 cm-2eV-1.

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