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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국센서학회 센서학회지 센서학회지 제13권 제4호
발행연도
2004.1
수록면
309 - 315 (7page)

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In the pressure sensor, about below 20 kPa, the center boss diaphragm structure is generally used, but it is hard to obtainthe high sensitivity because the center boss structure is limited at the thickness and size of diaphragm with chip size.Therefore, this paper suggests that the Center boss structure has surface etched diaphragm using a stress concentrationto improve the sensitivity. We carried out the simulation and fabrication applied new diaphragm design. In the result, thesensitivity is improved to 60% without the change of non-linearity (0.14%FS). So, the Center boss of surface etcheddiaphragm can be applied for the high sensitivity in the low-pressure sensor.
#diaphragm #boss #pressure sensor #stress sensitivity

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참고문헌 (5)

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J. Binder / 1985. / Silicon pressure sensors for the range 2 kPa to 40 MPa. Part 1 A chip for every pressure range xx : 64 ~ google schola J. R. Mallon / 1983. / Transducers employing convoluted diaphragms google schola M. Nishihara, / pp.285. / Recent semiconductor pressure sensors : 285 ~ google schola Min-Hang Bao / 1990. / Micromachined beam-diaphragm structure improves performances of pressure transducer sensors and actuators : 21 ~ 23137141 google schola Min-Hang Bao / 2000. / Micro mechanical transducers : 265 ~ 279 google schola

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