ZnO 나노휘스커 소재를 이용한 MEMS가스센서의 소비전력과메탄 감응 특성 연구

문형신; 박성현; 김성은; 유윤식

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자료유형: 학술저널

저자정보: 문형신 박성현 김성은 유윤식

저널정보: 한국센서학회 센서학회지 센서학회지 제19권 제6호

발행연도: 2010.1

수록면: 462 - 468 (7page)

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A low power gas sensor with microheater was fabricated by MEMS technology. In order to heat up the gas sensing material to a operating temperature, a platinum(Pt) micro heater was built on to the micromachined Si substrate. The width and gap of microheater were 20 ﾠμm and 4.5 ﾠμm, respectively. ZnO nanowhisker arrays were fabricated on a sensor device by hydrothermal method. The sensor device was deposited with ZnO seeds using PLD systems. A 200 ﾠml aqueous solution of 0.1 ﾠmol zinc nitrate hexahydrate, 0.1 ﾠmol hexamethylenetetramine, and 0.02 ﾠmol polyethylenimine was used for growthing ZnO nanowhiskers. The power consumption to heat up the gas sensor to a operating temperature was measured and temperature distribution of sensor was analyzed by a Infrared Thermal Camera. The optimum temperature for highest sensitivity was found to be 250 ﾠoC although relatively high(64 ﾠ%) sensitivity was obtained even at as low as 150 ﾠoC. The power consumption was 72 mW at 250 oC and was only 25 mW at 150 oC.

#gas sensor #microheater #ZnO nanowhiskers #power consumption #methane

참고문헌 (18)

참고문헌 신청

C. Lu / 2010 / Highly hydrogen-sensitive SnO2 nanoscale-particle films with platinum electrodes / Sensors and Actuators B 146 : 145 ~ 153

C.M. Carney / 2005 / TiO2-SnO2nanostructures and their H2 sensing behavior / Sensors and Actuators B 108 : 29 ~ 33

D.Kohl / 2001 / Function and application of gas sensors / Jounal of Physics D:Applied Physics 34 : 125 ~ 149

E. Comini / 2002 / Stable and higly sensitive gas sensors based on semiconducting oxide nanobelts / Appl. Phys. Lett 81 : 1869 ~ 1871

J. Puigcorbe / 2003 / Thermal and mechanical analysis of micromachined gas sensor / Journal of Micromechanics and Microengineering 13 : 548 ~ 556

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