저주파수용 ZnO 압전 마이크로 전원의 설계와 분석

정귀상; 윤규형

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자료유형: 학술저널

저자정보: 정귀상 윤규형

저널정보: 한국센서학회 센서학회지 센서학회지 제18권 제5호

발행연도: 2009.1

수록면: 372 - 376 (5page)

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This paper describes the characteristics of piezoelectric micro power generators by the ANSYS FEA(finite element analysis). The micro power generator was designed to convert ambient vibration energy to electrical power as a ZnO piezoelectric material. To find optimal model in low vibration ambient, the shape of power generator was changed with different membrane width, thickness, length, and proof mass size. Using the ANSYS modal analysis, bending mode and stress distribution of optimal model were analyzed. Moreover, the displacement with the frequency range was analyzed by harmonic analysis. From the simulation results, the resonance frequency of optimal model is about 373 Hz and investigate the possibility of ZnO micro power generator for ambient vibration applications.

#vibration energy #micro power generator #ZnO

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D. Shen / 2008 / The design, fabrication and evaluation of a MEMS PZT cantilever with an integrated Si proof mass for vibration energy harvesting / J. Micromech. Microeng. 18

G. H. Kim / 2006 / Deposition of ZnO films grown by pulsed laser deposition for film bulk acoustic resonators / Superlattic. & Microstruc. 39 : 50 ~ 59

H. B. Fang / 2006 / Fabrication and performance of MEMS-based piezoelectric power generator for vibration energy harvesting / Microelectron. J. 37 : 1280 ~ 1284

J. Q. Liu / 2008 / A MEMSbased piezoelectric power generator array for vibration energy harvesting / Micro- electron. J. 39 : 802 ~ 806

M. Marzencki / 2008 / Integrated power harvesting system including a MEMS generator and a power management circuit / Sens. & Actu. A 145 : 363 ~ 370

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