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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국센서학회 센서학회지 센서학회지 제26권 제2호
발행연도
2017.1
수록면
91 - 95 (5page)

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Recently, infrared (IR) spectrometers have been required in various fields such as environment, safety, mobile, automotive, and mil- itary. This IR dispersive sensor detection method of substances is widely used. In this study, we fabricated a silicon (Si) prism-basednear infrared (NIR) spectrometer utilizing micro electro mechanical system (MEMS) technology. Si prism-based NIR spectrometer uti-lizing MEMS technology consists of upper, middle, and lower substrates. The upper substrate passes through the incident IR ray selec- tively. The middle substrate, acting as a prism, disperses and separates the incident IR beam. The lower substrate has an amorphous Si(a-Si)-based bolometer array to detect the IR spectrum. The fabricated Si prism-based NIR spectrometer utilizing MEMS technologyhas the advantage of a simple structure, easy fabrication steps, and a wide NIR region operating range.
#MEMS #infrared #spectrometer #prism

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Bo-Cai Gap / 1990 / Column Atmospheric Water Vapor and Vegetation Liquid Water Retrievals From Airborne Imaging Spectrometer Date / J. Geophys. Res 95 : 3549 ~ 3564 google schola H. O. Kang / 2010 / Fabrication and performance analysis of an amorphous silicon based thermal IR detector / Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (NEMS), 2010 5th IEEE Inter google schola H. W. Siesller / 2002 / Near-Infrared Spectroscopy: principles, instruments, applications / WILEY-VCH Verlag GmbH google schola P. Wagli / 2011 / Norland optical adhesive(NOA81)microchannels with adjustable wetting behavior and high chemical resistance against a range of mid-infrared-transparent organ google schola P. Werlea / 2002 / Near-and mid-infrared laser-optical sensors for gas analysis / Opt. Lasers Eng 37 : 101 ~ 114 google schola

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