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자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국센서학회 센서학회지 센서학회지 제15권 제6호
발행연도
2006.1
수록면
457 - 461 (5page)

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To use the porous silicon as gas sensors, we made the MOPS structure from the porous silicon with Al evaporation and investigated the sensing characteristic of ethanol. When the MOPS structure is in contact with ethanol gas, the maximum peak of PL changes and it return to original intensity without contact. The MOPS structure had response time 0.78s and recovery time 4.13s when it is in contact with ethanol, which satisfied the required sensor standards. Further complimentary researches, however, are required to investigate the contact mechanism between MOPS structure and ethanol and to solve the surface contamination problem.
#porous silicon #metal-oxide-porous silicon structure #photoluminescence #response characteristics #ethanol sensor

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