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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국센서학회 센서학회지 센서학회지 제13권 제5호
발행연도
2004.1
수록면
323 - 328 (6page)

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N-type semi-conducting oxides such as SnO2, ZnO and ZrO2 have been known for the detecting materials of inflammable or toxic gases. Of those materials, SnO2-based sensors are well known as high sensitive materials to detect toxic gases. And the sensitivity is improved if catalysts are added. Detecting toxic gases, especially DMMP (di-methyl-methyl-phosphonate) and DPGME(Dipropylene glycol methyl ether), was performed by a mixture of Tin oxide(SnO2) and Zirconia(ZrO2), . The films consist of each three different mass% of Zr(from 1 mass% to 5 mass%), and they were tested by XRD, SEM, TEM, BET. Nano-structure, pore and particle size was controlled to verify the sensor's sensing mechanism. The sensors was evaluated at five different degrees(from 200 ℃ to 400 ℃) and three different concentrations(from 500 ppb to 1500 ppb). The sensors had good sensitivity of both simulants, and high selectivity of DMMP.

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