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자료유형
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한국센서학회 센서학회지 센서학회지 제11권 제1호
발행연도
2002.1
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스크린 프린팅법으로 Al2O3 기판 위에 LaFeO3를 기본물질로 하여 Al2O3를 각각 2wt.%, 5wt.%, 10wt.%를 첨가한 후막을 제조하였다. 열처리 온도에 따른 후막의 구조적, 전기적 특성과 암모니아 가스에 대한 감지특성을 조사하였다. X선 회절에서, 첨가한 Al2O3는 1200oC까지의 열처리에도 LaFeO3와 반응하여 화합물을 형성하지 않음을 확인하였다. 전자현미경 사진에서 Al2O3의 첨가량에 따른 열처리에 대한 입자의 변화는 차이를 보이지 않았다. 후막의 전기적 특성에서 활성화 에너지가 높고 전기저항이 작은 시료에서 가스감도가 좋았다. Al2O3를 2wt.% 첨가하여 1200℃에서 열처리한 후막은 100ppm NH3 가스에 대해 동작온도 350℃에서 210%의 감도를 보였다. 이 후막은 NH3 가스에 대해 우수한 선택성을 보였다.

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