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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징학회지 마이크로전자 및 패키징학회지 제14권 제2호
발행연도
2007.1
수록면
59 - 63 (5page)

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This paper presented a low-cost thick film gas sensor module, which was based on simple PCB (Printed Circuit Board) process. The proposed sensor module included a NO2/H2 gas sensor, a relative humidity sensor, and a heating element. The NO2/H2 gas and relative humidity sensors were realized by screen-printing SnO2, BaTiO3 nano-powders on IDTs (Interdigital Transducer) of a PCB substrate, respectively. At first 1% H2 gas flowed into the sensor chamber. After 4 min, air filled the chamber while H2 gas flow stopped. This experiment was performed repeatedly. The identical procedure was used for the NO2 detection. The result for sensing H2 gas showed the increase of voltage from 0.8V to 3.5V due to the conductance increase and its reaction response time by hydrogen flow was 65 sec. NO2 sensing results showed 2.7 V voltage drop due to the conductance decrease and its response time was 3 sec through a voltage monitoring.
#nitrogen dioxide1. 서?론오염된 환경 여건으로 인하여 가스 감지는 현대 생활에서 중요한 역할을 하고 있으며 #많은 가스 감지 기술이 개발되어왔다. 가스 센서들의 상업화를 위해서는 높은 감지 능력과 선택성 #신뢰성뿐만 아니라 #저가격 또한 중요한 요소이다. 최근에는 실리콘 웨이퍼를 기반으로 한 소형화된 가스센서들이 개발되고 있다. 미세 가공된 가스 센서들의 가장 큰 장점은 빠른 응답이 #PCB. tin oxide #hydrogen

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/ 1980 / Oxygen chemisorption on tin oxide correlation between electrical conductivity and EPR measurements google schola / 1981 / Effect of various substrates on the hydrogen sensitivity of palladium-semiconductor diodes to (mura) google schola / 1999 / A survey and tutorial of dielectric materials used in the manufacture of printed circuit boards google schola / 1999 / Sprayed SnO2 thin films for NO2 sensors B 58 : 370 ~ google schola / 2000 / Improvement of Nanocrystalline BaTiO3 humidity properties B 66 : 159 ~ google schola

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