Aerosol Deposition 법을 이용한 광촉매 TiO2 박막 제조

최원열; 강경태; 민석홍; 김종오; 최병규

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자료유형: 학술저널

저자정보: 최원열 강경태 민석홍 김종오 최병규

저널정보: 한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징학회지 마이크로전자 및 패키징학회지 제11권 제4호

발행연도: 2004.1

수록면: 55 - 59 (5page)

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본 논문은 광 활성도가 가장 좋은 아나타제(anatase) 상의 광촉매 TiO2 분말을 상온에서 aerosol deposition 법을 사용하여 박막을 제조하였다. 이런 제조 방법은 aerosol 분말을 초음속으로 분사하여 기판에 증착시키는 방법으로, 저온에서 박막 증착이 가능하여 thermal stress를 줄일 수 있고, 공정 단가를 낮출 수 있다는 장점이 있다. 박막 제조시 aerosol bath의 압력은 500 torr이고, chamber의 압력은 0.4 torr였다. 이런 압력차는 0.4mm×10mm의 크기의 노즐을 통해 TiO2 나노 분말을 초음속으로 가속하여 기판에 증착시켰다. 박막 제조를 위해 사용한 기판은 수질정화에 응용하기 위해 직경 50mm인 원판 SUS mesh를 사용하였다. TiO2 분말의 고른 분포를 위해 TiO2 분말에 함유되어 있는 수분을 제거 하고 이차 입자의 생성을 억제하기 위해서 알코올 bath 속에서 90분간 초음파 세척을 한 후 건조 하였다. SUS mesh 위에 증착되어 있는 TiO2 박막의 입자 크기를 알아보기 위해 주사 현미경(SEM)으로 분석하였으며, 1m 정도의 입자 크기를 관찰 할 수 있었다. X-ray diffraction (XRD)분석 결과 aerosol deposition 후에도 분말의 anatase상은 그대로 유지되었으며, 이런 결과는 광촉매 작용을 이용한 수처리용 필터로 활용이 가능하다.

#TiO2 powder #Aerosol deposition #Photocatalytic #Low temperature #Filter

참고문헌 (10)

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/ 1997 / X-ray diffraction and scanning electron microscopy observation of lead zirconate titanate thick film formed by gas deposition method 36 : 5815 ~

/ 2000 / Continuous-mode photocatalytic degradation of chlorinated phenols and persticides in water using a benchscale TiO2 rotating disk reactor 24 (314) : 139 ~

/ 2000 / Soi-Gel synthesis and spray granulation of porous titanin powder 73 (5) : 461 ~

/ 2001 / Direct splitting of water under visible light irradiation with an oxide semiconductor photocatalyst 414 (6864) : 625 ~

/ 2001 / Sonophotocatalytic decomposition of water using TiO2 photcatalyst 8 : 55 ~

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