BaTiO3 입자 함량이 에폭시/BaTiO3 복합 내장형 커패시터 필름의 유전상수에 미치는 영향

백경욱; 이주연; 현진걸; 이상용; 조성동

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자료유형: 학술저널

저자정보: 백경욱 이주연 현진걸 이상용 조성동

저널정보: 한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징학회지 마이크로전자 및 패키징학회지 제11권 제2호

발행연도: 2004.1

수록면: 1 - 9 (9page)

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BaTiO3 분말의 양과 에폭시/BaTiO3 복합 내장형 커패시터 필름의 유전상수와의 관계를 살펴보고 이에 대해 고찰하였다. 이를 위해 BaTiO3 분말의 함량에 따른 에폭시/BaTiO3 복합 내장형 커패시터 필름의 밀도 변화와 필름의 표면 및 단면 모습을 관찰하였다. 또한 BaTiO3 분말의 함량을 높이기 위한 여러 가지 bimodal 조합에 따른 에폭시/BaTiO3 복합 내장형 커패시터 필름의 유전상수 변화를 관찰하였다. 단일 입자를 이용한 unimodal의 경우 유전상수가 가장 높게 측정된 S4 분말을 이용하여 얻을 수 있었던 유전상수의 최대값은 약 60 이었다. 최대값보다 과량의 BaTiO3 분말을 첨가하였을 경우, 에폭시/BaTiO3 복합 내장형 커패시터 필름의 유전상수가 감소하는데, 이는 과량의 분말을 수용하기 위해 생성된 기공에 의한 것이었다. Bimodal 조합의 경우 가장 큰 분말과 가장 작은 분말의 조합인 S5+C1의 조합이 75 vol%의 가장 많은 양의 분말을 넣어 가장 높은 유전상수 90 을 얻는데 성공하였다.

#Embedded Capacitor #Polymer/ceramic Composite #Barium Titanate

참고문헌 (14)

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/ 1985 / Dielectric Properties of Fine-grained Barium Titante Ceramics 58 (4) : 1619 ~

/ 1997 / Dielectric analysis of Integrated Ceramic Thin Film Capacitors 15 (1/4) : 39 ~ 51

/ 2000 / A Precise numerical Prediction of Effective Dielectric Constant for Polymer-ceramic Composite Based on Effective-medium Theory 23 (4) : 680 ~

/ 2000 / Factors Influencing the Permittivity of Polymer/Ceramic Composite for Embedded Capacitors 23 (2) : 313 ~

/ 2000 / High-dielectric-constant Ceramic-powder Polymer Composites 76 (25) : 3804 ~

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