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논문 기본 정보

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학술저널
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저널정보
한국결정성장학회 한국결정성장학회지 한국결정성장학회지 제30권 제3호
발행연도
2020.1
수록면
110 - 116 (7page)

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MLCC(Multi-Layer Ceramic Capacitor)의 유전체 층에 사용되는 BaTiO3 입자는 안정한 TCC(Temperature Characteristicsof Capacitance) 거동을 갖기 위해 core/shell 구조를 갖는다. 지금까지 shell의 특성은 core/shell 구조의 전체 특성에서 유추해 왔다. 이는 core/shell 구조가 겨우 수 m의 작은 크기로 shell 특성만 구별해서 측정하기가 어렵기 때문이다. 본 실험에서는 micro-contact법을 이용하여 확산쌍 시편의 계면에 형성된 확대된 core/shell 구조에 Pt 전극을 증착하여 35~135oC 에서shell 영역의 독립적인 TCC 거동을 측정하였다. 그 결과, 65oC에서 최대 유전율 값을 갖는 완만한 피크의 확산 상전이(Diffusion Phase Transition) 거동인 core의 특성과 구별되는 거동을 관찰하였으며, 이는 core/shell 구조의 온도-유전거동을묘사하는 모델링에서 실험 자료로 활용될 것으로 본다.

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