유연 기판을 이용한 PLC소자 제작을 위한 롤투롤 공정 연구

강호주; 김태훈; 정명영

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자료유형: 학술저널

저자정보: 강호주 김태훈 정명영

저널정보: 한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징학회지 마이크로전자 및 패키징학회지 제22권 제4호

발행연도: 2015.1

수록면: 25 - 29 (5page)

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저가격, 높은 생산성, 고해상도를 가지는 소자의 패턴 제작 방법에 대한 요구가 계속적으로 증가하고 있다. 롤투롤 연속생산 공정은 저비용, 대량생산이 가능한 차세대 공정으로 각광받고 있다. 본 논문에서는 PLC (planar lightwave circuit) 소자의 제작을 위해서 롤투롤 공정을 이용하여 제조하는 방법을 연구하였다. 제안한 기술은 polydimethylsiloxane (PDMS) 고분자를 이용하여 롤투롤 공정을 통해 PLC소자를 제작하는 공정을 연구하였다. 실리콘 웨이퍼에 형성된 마이크로 패턴을 복제 공정을 수행하였으며 이를 원통금형에 적용하여 롤투롤 공정의 롤 몰드(roll mold)로 사용하였다. 웹 텐션과 웹 속도의 공정 조건 최적화로 롤투롤 공정을 이용하여 PLC소자를 제작하였다. 제작된 PLC소자는 약4.0dB의 삽입손실을 가지는 1 × 2 광분배기이며, 제안한 롤투롤 공정 기술을 이용한 PLC소자의 제작 공정이 대량연속생산에 유효함을 확인하였다.

#Planar lightwave circuit #Polymeric roll mold #R2R process #Roll-to-Roll imprint lithography #Optical interconnection

참고문헌 (13)

참고문헌 신청

H. C. Andrew / 2009 / Casting metal microstructures from a flexible and reusable mold / J. Micromech. Microengineering 19 : 095016 ~

J. H. Ryu / 2011 / Optical interconnection for a polymeric plc device using simple positional alignment / Opt. Express 19 : 8571 ~

Jin Hwa Ryu / 2014 / Fabrication of Low-loss Optical Interconnected Waveguide Using a Replicated Seamless Large-area Polymeric Mold / Journal of the Korean Physical Society 6

L. Woo-Jin / 2009 / Polymeric waveguide film with embedded mirror for multilayer optical circuits / Photonics Technology Letters, IEEE 21 : 12 ~

S. H. Oh / 2011 / Fabrication of nickel stamp with improved sidewall roughness for optical devices / Microelectronic Engineering 88 : 2900 ~

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