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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징학회지 마이크로전자 및 패키징학회지 제25권 제3호
발행연도
2018.1
수록면
55 - 59 (5page)

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본 연구에서는 Si/SiO2/Si-sub 구조의 SDB (silicon-direct-bonding) 웨어퍼 상에 형성된 다이아프램(diaphragm)에 제조된 전단응력형 압전저항 특성을 분석하였다. 다이아프램은 MEMS (Microelectromechanical System) 기술을 이용해 형성하였다. TMAH 수용액을 이용해 웨이퍼 후면을 식각하여 형성된 다이아프램 구조는 각종 센서제작에 활용할 수 있다. 본 연구에서는 다이아프램 상에 형성시킨 전단응력형 압전저항의 최적의 형상조건을 ANSYS 시뮬레이션을 통하여 찾고 실제 반도체 미세가공기술을 이용해 다이아프램 구조를 형성시키고 이에 붕소(boron)을 주입하여 형성시킨 전단응력형 압전저항의 특성을 시뮬레이션 결과와 비교 분석하였다. 압력감지 다이아프램은 정방형으로 제조되었다. 다이아프램의 모서리의 중심부에서 동일한 압력에 대한 최대 전단응력은 구조물이 정방형일 때 발생한다는 것을실험으로 확인할 수 있었다. 따라서 압전저항은 다이아프램의 가장자리 중앙에 위치시켰다. 제조된 전단응력형 압전저항은 시뮬레이션 결과와 잘 일치하였고 2200 μm × 2200 μm 크기의 다이아프램에 형성된 압전저항의 감도는 183.7 μV/kPa 로 나타났으며 0~100 kPa 범위의 압력에서 1.3%FS의 선형성을 가졌으며 감도의 대칭성 또한 우수하게 나타났다.

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참고문헌 (4)

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최영명 / 2009 / 유체 충격 압력 측정용 압전 센서 특징 / 한국해양공학회지 23(6):17~22 dbpia 정화영 / 2015 / 압력센서를 이용한 실시간 앉은 자세 모니터링 시스템 / 전기학회논문지 64(6):940~947 dbpia 박은주 / 2017 / 고온히터 솔더접합부의 신뢰성 평가 및 예측 / 마이크로전자 및 패키징학회지 24(2):23~27 dbpia 최지나 / 2017 / Sn-0.7Cu-xZn와 OSP 표면처리 된 기판의 솔더접합부의 고속 전단강도에 미치는 Zn의 영향 / 마이크로전자 및 패키징학회지 24(1):45~50 dbpia

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