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논문 기본 정보

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저자정보
저널정보
한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징학회지 마이크로전자 및 패키징학회지 제13권 제3호
발행연도
2006.1
수록면
33 - 38 (6page)

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유리 조성이 섞인 유전체 파우더와 증류수 그리고 해교제의 혼합으로 만들어진 슬러리를 에어로졸 형태로 고압 스프레이 건으로 기판에 스프레이 코팅 하였다. 기판으로는 알루미나 기판과 전극 패턴이 프린트 된 그린쉬트를 사용하였다. 슬러리 점도와 스프레이 건에 의한 분사모양 그리고 슬러리의 분사량은 코팅 층의 코팅 속도에 영향을 끼쳤으나 밀도에는 거의 영향을 주지 않았다. 고압 스프레이 코팅 방법은 기판에 직접적인 가압 과정이 없으므로 내부 전극은 인쇄된 형태가 유지되었다. 최적 조건에서는 균일하고 조밀한 코팅 층을 얻을 수 있었다. 또한 그린쉬트에 적층 공정을 사용한 기존의 방법과는 달리 고압 스프레이 코팅 방법은 20~50 ㎛의 얇은 유전체 층을 얻을 수 있었다.
#LTCC #dielectric layer #high pressure spray coating #slurry.

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/ 1985 / Ceramic Dielectrics and Capacitors google schola / 1991 / Ceramic and Glass-Ceramic Packing in the 1990s : 895 ~ 908 google schola / 1996 / Competing in Today's Changing Hybrids Markets Advancing Microelectrics 23 (6) : 16 ~ 20 google schola / 1999 / LTCC-M: An Enabling Technology for High Performance Multilayer RF Systems google schola / 2002 / Glass -Ceramic technology google schola

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