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The Effects of Thermal Decomposition of Tetrakis-ethylmethylaminohafnium (TEMAHf) Precursors on HfO₂ Film Growth using Atomic Layer Deposition
Applied Science and Convergence Technology
2016 .05
10mtorr 이하, 400도 이하 저온 박막 증착을 위한 액상 전구체 공급 장치 및 이를 이용한 박막 증착
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
다양한 섬유 위에서 원자층 증착법으로 증착된 백금의 표면 반응 메커니즘 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
빗각 증착으로 제조된 알루미늄 박막의 조직변화와 부식 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
Tetrakis(trimethylsilyloxy)silane와 cyclohexane 혼합 전구체를 사용한 플라즈마중합박막에서의 mouse embryonic fibroblast cell과 bovine aortic endothelial cell의 동향
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
원자층 증착법에 의해 성장된 산화아연 박막의 결정 분극 제어에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
원자층 증착법에 의해 성장된 ZnO계 산화물-금속-산화물 다층 박막 성장에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
세슘(Cs)이 흡착된 층상규산염 광물의 열물성 비교 연구
한국암석학회 학술발표회 논문집
2023 .06
[보호진공과학상] 진공환경에서의 반도체/OLED 증착소재(precursor) 물성 측정 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
증착온도에 따른 Fe 박막의 구조적, 자기적 특성 변화 연구
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2016 .11
증착 에너지의 변화에 따른 박막특성 분석 및 수직자기이방성 연구
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2016 .05
La0.88Sr0.12MnO₃ 박막의 증착 조건 및 물리적 특성 연구
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2016 .05
금속산화물 원자층 증착법을 이용한 전자섬유 색 제어
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
원자층 증착법으로 성장된 분극 및 반분극 산화아연 박막의 광학 및 결정학적 특성에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
반도체 디스플레이 제조기술: 진공에서 비진공, 다시 진공으로, 기술의 순환
진공이야기
2019 .03
진공이야기 속 진공이야기
진공이야기
2022 .03
졸-젤 및 원자층증착법을 이용한 n-ZnO/p-Si 이종접합구조 자외선 센서에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
상압 플라즈마를 이용한 고품질 고속증착 실리콘 박막의 증착
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
진공산업과 진공학회의 융합
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
다공성 금속 합금 폼 표면의 향상된 촉매 분산을 위해 원자층 증착법을 이용한 inter-layer의 도입
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
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