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학술저널
저자정보
우르마노프 바흐티요르 (선문대학교) 노준석 (선문대학교) 편영식 (선문대학교) 아마노프 아웨즈한 (선문대학교)
저널정보
한국트라이볼로지학회 Tribology and Lubricants 한국윤활학회지 제35권 제3호
발행연도
2019.6
수록면
176 - 182 (7page)

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The primary objective of this study is to treat a monocrystalline silicon (Si) wafer having a thickness of 279 μm by employing the ultrasonic nanocrystal surface modification (UNSM) technology for improving the efficiency and service life of nano-electromechanical systems (NEMSs) and micro-electromechanical systems (MEMSs) by enhancing of wear and corrosion resistances. The wear and corrosion resistances of the Si wafer were systematically investigated before and after UNSM treatment, wherein abrasive, oxidative and spalling wear mechanisms were applied to the as-received and subsequently UNSM-treated Si wafer. Compared to the asreceived state, the wear and corrosion resistances of the UNSM-treated Si wafer are found to be enhanced by about 23% and 14%, respectively. The enhancement in wear and corrosion resistances after UNSM treatment may be attributed to grain size refinement (confirmed by Raman spectroscopy) and modified surface integrity. Furthermore, it is observed that the Raman intensity reduced significantly after UNSM treatment, whereas neither the Raman shift nor new phases were found on the surface of the UNSM-treated Si wafer. In addition, the friction coefficient values of the as-received and UNSM-treated Si wafers are found to be about 0.54 and 0.39, respectively. Hence, UNSM technology can be effectively incorporated as an alternative mechanical surface treatment for NEMSs and MEMSs comprising Si wafers.
#silicon wafer (실리콘 웨이퍼) #friction and wear behavior (마찰마모 거동) #corrosion (부식) #ultrasonic nanocrystal surface modification technology (초음파나노표면개질기술)

목차

Abstract
1. 서론
2. 연구방법 및 내용
3. 결과 및 고찰
4. 결론
References

참고문헌 (12)

참고문헌 신청
Zorman, C. A. / 2017 / Springer Handbook of Nanotech-nology / Springer google schola Alper, S. E. / 2008 / A compact angu-lar rate sensor system using a fully decoupled sili-con-on-glass MEMS gyroscope / J. Microelectromech. Syst. 17:1418~1429 google schola Bhushan, B. / 2005 / Nano-tribology and Nanomechanics / Springer google schola Wang, L. / 2014 / Improving efficiency of silicon heterojunction solar cells by surface texturing of sil-icon wafers using tetramethylammonium hydrox-ide / J. Power Sour. 268:619~624 google schola Basu, P. K. / 2014 / Liquid silicate additive for alkaline textur-ing of mono-Si wafers to improve process bath life-time and reduce IPA consumption / Solar Energy Mater. Solar Cells 23:1917~1928 google schola

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