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Multiplication of Graphoepitaxially Assembled Lamellar Pattern via Atomic Layer Deposition for 5 nm Scale Nanopatterning
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2015 .04
ALD 처리된 스템프와 나노임프린트를 결합하여 제작된 sub-10nm 패턴
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
원자적층법(Atomic Layer Deposition) 증착 조건에 따른 ZnO 박막의 특성 변화 확인
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .10
원자층 증착법을 이용한 5nm 이하의 나노채널 제작
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .05
The Fabrication of Sub-10nm Nanopattern Array Using Nanoimprint Lithography with ALD-treated Template
대한기계학회 춘추학술대회
2017 .05
표면에 나노패턴을 가진 알루미나 마이크로 구조물 제작
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
Characteristics of Al₂O₃ thin films grown by using atomic layer deposition at low temperature
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2022 .05
연구용 초소형 원자층 층착 장치 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .05
소형 원자층 증착 장치
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .05
유한요소해석을 통한 Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition 장비 유동 가시화 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2020 .07
Atomic Layer Deposition 방법을 이용한 Zinc Oxide Hybrid 박막의 기계적 물성 향상
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .05
원자층 증착법으로 증착된 MoO<sub>x</sub>를 적용한 전하 선택 접합의 이종 접합 태양전지
한국재료학회지
2019 .01
원자층 박막 증착법을 이용한 리튬 박막 제작
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .05
Thermal Interfaces for Nanopatterning and Sensing
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2018 .10
CO<sub>2</sub> 레이저 환원법과 원자층 증착법을 이용한 VO<sub>x</sub>/Graphene 복합체 제조 및 전기화학적 성능 평가
화학공학
2020 .01
전산유체역학을 이용한 Atomic Layer Deposition 장비의 내부 유동 예측
대한기계학회 춘추학술대회
2017 .11
공간 분할형 상압 원자층 증착 시스템 개발
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2017 .04
입자 코팅이 가능한 소형 및 저가형 원자층 증착 장비
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .10
Improved Film properties of Al₂O₃ Film Deposition on Graphene substrates deposited by UV-assisted Atomic Layer Deposition
대한기계학회 춘추학술대회
2022 .11
Atomic Layer Deposition on Nano-particles using External Vibration
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
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