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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
Suen-Ki Hwang (Yeongju Campus of KOREA POLYTECHNICS) Ha-Young Cheong (Kyonggi university)
저널정보
한국정보전자통신기술학회 한국정보전자통신기술학회 논문지 한국정보전자통신기술학회 논문지 제12권 제2호
발행연도
2019.4
수록면
150 - 154 (5page)

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In the design of semiconductor integrated circuits, ESD is one of the important issues related to product quality improvement and reliability. In particular, as the process progresses and the thickness of the gate oxide film decreases, ESD is recognized as an important problem of integrated circuit design. Many ESD protection circuits have been studied to solve such ESD problems. In addition, the proposed device can modify the existing SCR structure without adding external circuit to effectively protect the gate oxide of the internal circuit by low trigger voltage, and prevent the undesired latch-up phenomenon in the steady state with high holding voltage. In this paper, SCR-based novel ESD(Electro-Static Discharge) device with the high holding voltage has been proposed. The proposed device has the lower triggering voltage without an external trigger circuitry and the high holding voltage to prevent latch-up phenomenon during the normal condition. Using TCAD simulation results, not only the design factors that influence the holding voltage, but also comparison of conventional ESD protection device(ggNMOS, SCR), are explained. The proposed device was fabricated using 0.35um BCD process and was measured electrical characteristic and robustness. In the result, the proposed device has triggering voltage of 13.1V and holding voltage of 11.4V and HBM 5kV, MM 250V ESD robustness.
#ESD Protection Device #TCAD #ggNMOS #BCD #SCR #HBM 5kV

목차

Abstract
1. Introduction
2. Main subject
3. Fabrication and measurement results of the proposed device
4. conclusion
REFERENCES

참고문헌 (7)

참고문헌 신청
R. G Wagner / 1993 / Extend and Cost of EOS / ESD Damage in an IC Manufacturing Process " / Proc. of the 15th EOS / ESD Symp :49~55 google schola A. Amerasekera / 2005 / ESD in silicon integrated circuits / Wiley google schola Chris Toumazou / Trade-Offs in analog Circuit Design / Kluwer Academic Publishers :139~2004 google schola Baker / CMOS Circuit Design and layout / Wiley :900 google schola K. Mark Smith, Jr / 1997 / A Comparison of Voltage-Mode Soft-Switching Methods for PWM Converters / IEEETrans-Power Electronic 12(2) google schola

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