개인구독
소속 기관이 없으신 경우, 개인 정기구독을 하시면 저렴하게
논문을 무제한 열람 이용할 수 있어요.
지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2018.5
- 수록면
- 382 - 385 (4page)
이용수
이 논문의 연구 히스토리 (7)
2019
2018
FEM 해석을 이용한 mN급 MEMS 추력 측정 시스템 설계
류영석
,
서대반
,
이종광
한국추진공학회 학술대회논문집
2018.12
학술대회자료
압저항 센서 기반의 μN급 MEMS 추력 측정 시스템의 개발
류영석
,
이종광
한국추진공학회 학술대회논문집
2018.12
학술대회자료
압저항 방식의 μN급 MEMS 추력 측정 시스템 설계 및 성능 예측
류영석
,
이종광
한국추진공학회지
2018.12
학술저널
MEMS 기술을 이용한 μN급 추력 측정 시스템의 제작 방법
류영석
,
이종광
한국추진공학회 학술대회논문집
2018.05
학술대회자료
- 이 논문의 후속연구가 궁금하신가요?
- 연관 학술논문 또는 학술발표를 통해 보다 발전된 연구결과를 확인하실 수 있습니다.
- 이 논문의 연구 히스토리 확인하기
초록· 키워드
오류제보하기
MEMS 기술을 이용하여 μN급 추력에 적합한 추력 측정 시스템을 제작 하였다. 제작될 MEMS 추력측정 시스템의 설계는 FEM 해석을 수행하여 빔과 박막, 압저항 센서의 크기를 설계 하였다. MEMS 추력 측정 시스템은 압저항 센서 제작 공정과 빔-박막 구조 제작 공정을 통해 제작되었다. 압저항 센서는 다결정 실리콘에 보론 이온을 주입한 후 열처리 공정을 통해 제작 되었으며, 빔-박막 구조는 웨이퍼의 앞면과 뒷면의 실리콘 층을 식각 공정을 통해 제거함으로써 제작되었다.
목차
ABSTRACT
초록
1. 서론
2. 본론
3. 결론
References
참고문헌 (0)
참고문헌 신청이 논문의 저자 정보
이 논문과 함께 이용한 논문
압저항 효과의 양극성을 이용한 MEMS 센서 민감도 향상을 위한 실리콘 나노와이어 설계
김태엽
,
장보배로
,
김애련
외 2명
제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집
2020
.07
나노 입도 분석기를 사용한 셀룰로오스 나노섬유의 폭과 크기 측정 : 투과전자현미경 이미지 분석과 비교
송우용
,
전소영
,
곽지혜
외 2명
펄프·종이기술
2019
.02
MEMS를 이용한 다공성 알루미나 에칭기술
박기용
,
최진섭
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018
.11
μN급 추력기 성능 평가를 위한 로드셀 타입의 추력 측정 시스템 설계
류영석
,
이종광
한국추진공학회 학술대회논문집
2017
.11
공력자료 수집장치를 위한 압저항형 MEMS 절대압 센서
김기훈
,
김상철
,
안준은
외 2명
제어로봇시스템학회 합동학술대회 논문집
2012
.07
최근 본 자료
댓글(0)
0