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김기훈 (유비트로닉스) 김상철 (유비트로닉스) 안준은 (국방과학연구소) 박규연 (유비트로닉스) 김정수 (루맥스에어로스페이스)
저널정보
제어로봇시스템학회 제어로봇시스템학회 합동학술대회 논문집 제8회 국방기술 학술대회
발행연도
2012.7
수록면
1,035 - 1,042 (8page)

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본 논문에서는 비행체에 필요한 고도와 속도를 측정하는 공력자료수집모듈(Air Data Module)의 정압 측정을 위해 필요한 MEMS 절대압 센서를 개발하였다. 센서는 실리콘 구조물, 온도센서, 패키지로 구성된다. 실리콘 구조물은 실리콘박막 위에 반도체형 압저항을 형성한 실리콘 기판과 유기기판을 진공실장하여 제작하였다. 제작된 센서의 선형성, 반복성, 히스테리시스 등을 측정하여 성능을 확인한 결과, 현재 ADM에 적용되고 있는 상용화 제품의 성능과 비교하여 동등한 성능의 결과를 확인함으로써 개발된 센서의 ADM에 적용 가능성을 확인하였다.

목차

Abstract
1. 서론
2. 본론
3. 결론
참고문헌

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