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A Review of Inductively Coupled Plasma-Assisted Magnetron Sputter System
Applied Science and Convergence Technology
2019 .09
RF magnetron sputtering과 O₂ plasma ashing 공정을 이용한 다공성 구조 박막 제작 및 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
Applications of fluid based plasma simulation : dry etch
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
ICP etching 시스템의 RF bias 전극에서 측정된 전기적 특성과 공정변수와의 상관관계
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
건식 공정을 이용한 나노포러스 박막 제작 및 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
What do we know about plasma?
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
반도체 공정용 플라즈마 시뮬레이션 연구의 동향 및 전망
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
Magnetron sputtering 장비의 Target erosion이 증착에 미치는 효과에 대한 2D PIC 시뮬레이션 해석
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
C₃F6O 가스를 이용한 SiO₂에 대한 식각 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
원자층 식각기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
Magnetic field optimization for high power impulse magnetron sputtering
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
Coercivity field control using magnetron sputtering energy
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2018 .11
Large-area graphene layer grown by using high power impulse magnetron sputtering
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
Design and Analysis of Permanent Magnet Array for Development of Large Area Magnetron Sputtering Sources
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2015 .11
Automation of dc magnetron sputtering system using real-time thickness monitor
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2019 .11
플라즈마 생활건강(Plasma Life-Health)
진공이야기
2020 .06
Next-generation magnetron sputtering ion source development via an ultra-low cooling system
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2023 .05
MoS2 layer etching using CF4 plasma and H2S plasma treatment
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
TMP station을 이용한 UBMS(Unbalanced Magnetron sputtering) 시스템 설계와 자석 비율 및 전자석에 의한 플라즈마 형상 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
Plasma Dealloying 공정을 통한 Nanoporous Thin Film 제작 및 특성분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
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