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저자정보
변인섭 (포항산업과학연구원) 양지훈 (포항산업과학연구원) 김성환 (포항산업과학연구원) 정재인 (포항산업과학연구원)
저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2018년도 한국표면공학회 추계학술대회 논문집
발행연도
2018.11
수록면
108 - 108 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (5)

2018

빗각 증착 방법으로 코팅된 TiN 박막의 표면형상과 잔류응력 특성 변화
변인섭 ,  양지훈 ,  김성환 외 1명 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2018.11 학술대회자료
빗각 증착으로 제조된 TiN 박막의 스트레스 특성 연구
변인섭 ,  양지훈 ,  김성환 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 2018.02 학술대회자료

2017

빗각 증착을 이용한 DC와 HIPIMS 스퍼터링 공정조건이 다른 박막의 특성 연구
변인섭 ,  양지훈 ,  김성환 외 1명 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2017.11 학술대회자료
빗각 증착으로 제조된 TiN 박막의 스트레스 특성 연구
변인섭 ,  양지훈 ,  김성환 외 1명 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2017.05 학술대회자료
빗각 증착으로 제조된 TiN 박막의 스트레스 특성 연구
변인섭 ,  양지훈 ,  김성환 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 2017.02 학술대회자료

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