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플라즈마 분위기에서 빗각 증착에 의한 경질피막의 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2017 .11
초경도 박막을 위한 빗각증착법의 상업화
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .11
빗각 증착으로 제조된 TiN 박막의 스트레스 특성 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2017 .05
빗각 증착 기술의 원리와 경질피막에의 응용
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .06
빗각으로 코팅한 Al 및 Al-Si 박막의 특성 평가
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2015 .11
빗각 증착에 의한 CrZrN 박막 제조 및 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2016 .05
고경도 나노다층막과 나노복합막을 위한 빗각증착법
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .05
빗각 증착 방법으로 코팅된 TiN 박막의 표면형상과 잔류응력 특성 변화
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .11
빗각 증착을 이용한 DC와 HIPIMS 스퍼터링 공정조건이 다른 박막의 특성 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2017 .11
Fe3O4 박막의 증착 속도에 따른 광학적 특성 변화
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2015 .04
플라즈마 원자층 증착 기술의 최근 동향 및 이슈
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2022 .06
플라즈마 기상 증착법을 이용한 비정질 탄화 실리콘 막 증착 중 발생 입자 및 박막 특성 분석
대한기계학회 춘추학술대회
2017 .05
Surface Chemistry Modification for Developing Atomic Layer Deposition Process for the 2D Material and Thin Film Deposition on 2D Materials
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .11
Front-end-of-line 공정 적용을 위한 플라즈마 강화 원자층 증착법으로 제조된 BeO 박막의 특성
대한전자공학회 학술대회
2022 .06
플라즈마 원자층 증착법을 이용한 결정질 TiO₂ 박막의 저온 증착 및 MIM 캐퍼시터 성능 분석
대한기계학회 춘추학술대회
2020 .12
R&D용 소형 원자층 증착 시스템 개발
대한기계학회 춘추학술대회
2018 .12
실시간 고속 플라즈마 아킹 검출에 대한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2015 .11
플라즈마 화학기상증착법을 이용한 투과형 실리콘 박막 태양전지 제조특성
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2017 .09
다양한 전구체의 펄스 시간에 따른 원자층 박막 증착을 통한 박막 특성 비교
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .05
원자층 박막 증착법을 이용한 리튬 박막 제작
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .05
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