디스플레이용 DC Magnetron Sputter에서 플라즈마 균일도 향상을 위한 기판전극 형상 설계

고동우 ,  김재원 ,  장세환 외 2명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2021 .12

A Study on the standardize the characteristic evaluation of DC magnetron sputtered silver coatings for engineering purposes

Gobinda Gyawali ,  Jinhyuk Choi ,  Tae Kwan Lim 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .11

ITER CS AC/DC 컨버터 단락시험

김봉철 ,  오종석 ,  최정완 외 2명

전력전자학회 학술대회 논문집

2018 .11

Pulsed DC Power Magnetron Sputter System을 사용한 Copper 박막 특성 조절

김도한 ,  이수정 ,  김태형 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2017 .05

DC/RF 마그네트론 스퍼터링법을 이용한 TiO₂/Ag/TiO₂ 하이브리드 다층박막의 적외선 반사 특성

김성한 ,  김서한 ,  송풍근

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2016 .11

DC Magnetron Sputter Plasma 균일도 향상을 위한 자석배열 최적화

김재원 ,  장세환 ,  이관용 외 1명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2021 .12

Real-time monitoring for detecting an abnormal arc discharge in DC magnetron sputter using OES

Tae Hun Lim ,  Se Hwan Jang ,  Young-Joo Kim 외 1명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2020 .10

ITER AC/DC Converter System Commissioning Plan

서재학 ,  오종석 ,  이충산

전력전자학회 학술대회 논문집

2023 .12

Status of Local Controller for the ITER AC/DC Converter

서재학 ,  유민호 ,  오종석 외 8명

전력전자학회 학술대회 논문집

2017 .11

국부적인 자기장 제어를 통한 대면적 DC Magnetron Sputtering 의 플라즈마 고밀도 균일화

이형빈 ,  김나경 ,  김영주

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2024 .11

플라즈마 스퍼터링 공정용 DC 전원장치에 관한 연구

권민준 ,  이우철

전력전자학회 학술대회 논문집

2019 .07

ITER 섹터 부조립장비 설계 및 개발

남경오 ,  배진호 ,  하민수

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2023 .05

Deposition of IGZO thin film using DC and ICP at magnetron sputtering system

C. H. Lee ,  K. N. Kim ,  T. H. Kim 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .05

펄스도금법을 이용한 고내마모성 로듐 도금층 형성에 관한 연구

이서향 ,  이재호

마이크로전자 및 패키징학회지

2019 .01

ITER 초전도자석 전원장치용 변압기의 제작 및 시험 현황

최정완 ,  서재학 ,  오종석 외 5명

전력전자학회 학술대회 논문집

2015 .11

디스플레이 제조용 DC Magnetron Sputter의 금속 박리 억제를 위한 Floating Mask 구조 설계

목진명 ,  장세환 ,  이관용 외 1명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2019 .11

4Q Local Controller for the ITER CS, VS1, CC AC/DC Converter

J.H. Suh ,  M.H. Yoo ,  J.S. Oh 외 9명

전력전자학회 학술대회 논문집

2018 .11

Development of High Entropy Alloy Film using Magnetron Sputtering

Young Seok Kim ,  Ki Seong Lim ,  Ki Buem Kim

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2018 .06

2Q Local Controller for the ITER TF AC/DC Converter

J.H. Suh ,  M.H. Yoo ,  J.S. Oh 외 9명

전력전자학회 학술대회 논문집

2018 .11

ITER 초전도자석 전원장치용 변압기의 제작 및 시험 현황

최정완 ,  서재학 ,  오종석 외 1명

전력전자학회 학술대회 논문집

2016 .11