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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2019.1
- 수록면
- 51 - 54 (4page)
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실리콘 기판상에 여러 조건의 전류밀도에서 로듐 도금을 실시하였다. 직류전원의 경우 전류밀도가 증가하면로듐 표면에 균열이 발생하였다. 잔류응력을 낮추기 위하여 펄스전류를 인가하였다. 펄스전류의 off 시간이 도금층의 잔류응력을 낮추는데 영향을 주었다. 펄스전류의 인가 주기를 5:5로 하였을 경우 균열 없는 로듐 도금층을 얻었다.
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F. Wang / 2009 / MEMS Vertical Probe Cards with Ultra Densely Arrayed Metal Probes for Wafer-Level IC Testing / J. Microelectromech. Sys 18(4):933
B. H. Kim / 2007 / A Robust MEMS Probe Card with Vertical Guide for a Fine Pitch Test / J. Micromech. Microeng 17(7):1350
T. Itoh / 2002 / Characteristics of Low Force Contact Process for MEMS Probe Cards / Sensors and Actuators A : Physical 97:462
Y. Cho / 2004 / Fabrication of Sharp Knife-Edged Micro Probe Card Combined with Shadow Mask Deposition / Sensors and Actuators A:Physical 114(2-3):327
B. H. Kim / 2008 / Design and Fabrication of a Highly Manufacturable MEMS Probe Card for High Speed Testing / J. Micromech. Microeng 18(7):075031
B. H. Kim / 2007 / A Robust MEMS Probe Card with Vertical Guide for a Fine Pitch Test / J. Micromech. Microeng 17(7):1350
T. Itoh / 2002 / Characteristics of Low Force Contact Process for MEMS Probe Cards / Sensors and Actuators A : Physical 97:462
Y. Cho / 2004 / Fabrication of Sharp Knife-Edged Micro Probe Card Combined with Shadow Mask Deposition / Sensors and Actuators A:Physical 114(2-3):327
B. H. Kim / 2008 / Design and Fabrication of a Highly Manufacturable MEMS Probe Card for High Speed Testing / J. Micromech. Microeng 18(7):075031
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