시뮬레이션을 이용한 고효율 분산 브래그 반사경 최적화 설계 및 특성

김관도

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자료유형: 학술저널

저자정보: 김관도 (Pyeongtaek University)

저널정보: 한국전기전자학회 전기전자학회논문지 전기전자학회논문지 제22권 제1호

발행연도: 2018.3

수록면: 189 - 192 (4page)

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본 연구에서는 LED칩 및 LCD 검사장비의 핵심부품인 광학 필름제조에 많이 사용되고 있는 DBR(Distributed Bragg Reflectors) 구조에 대한 시뮬레이션 방법을 개발하고 이러한 다층박막 특성 시뮬레이션을 통하여 최적의 DBR 구조를 제시하였다. 고굴절률 유전체인 TiO₂와 저굴절률 유전체인 SiO₂ 박막을 교대로 적층한 다층박막 구조에서 TiO₂와 SiO₂의 refractive index 값을 사용하여 박막의 배치 및 조합에 따른 wavelength(nm) vs. reflectance(%) 스펙트럼을 계산하였고 이 결과로 시뮬레이션을 통한 고효율 분산 브래그 반사경 최적화 설계 및 공정에 활용하여 DBR 구조 제작에 사용할 수 있었다.

#DBR #Refractive index #Simulation #Transmittance #Reflectance

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[학술지(정기간행물)] - R. Jambunathan / 1997 / Design Studies for Distributed Bragg Reflectors for Short-Cavity Edge-Emitting Lasers / IEEE Journal of Quantum Electronics 33 (7) : 1180 ~ 1189

[학술지(정기간행물)] - H. Y. Lin / 2015 / Improvement of light quality by DBR structure in white LED / Optics Express. 23 (3)

[학술대회논문] - D. X. Wang / 2006 / Optical design and simulation for nanoscale Distributed Bragg Reflector (DBR) for high-brightness LED / Proc. SPIE 6327, Nanoengineering: Fabrication, Properties, Optics, and Devices III, 63270Q

[학술지(정기간행물)] - A. Chen / 2016 / ZnO/a-Si distributed Bragg reflectors for light trapping in thin film solar cells from visible to infrared range / Applied Surface Science : 693 ~ 697

[학술지(정기간행물)] - J. Kischkat / 2012 / Mid-infrared optical properties of thin films of aluminum oxide, titanium dioxide, silicon dioxide, aluminum nitride, and silicon nitride / Applied Optics : 6789 ~ 6798

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