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학술저널
저자정보
조구영 (서울대학교) 이윤호 (캘리포니아대학교) 차석원 (서울대학교)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering Vol.35 No.12
발행연도
2018.12
수록면
1,119 - 1,129 (11page)
DOI
10.7736/KSPE.2018.35.12.1119

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Thin film solid oxide fuel cells (TF-SOFCs) are considered to be a promising next generation energy conversion device. TFSOFCs have many advantages such as rapid turn-on and off, fuel flexibility, material flexibility, high power density and availability of compact system. Electrodes and electrolytes of TF-SOFCs are fabricated by thin film processes. In order to fabricate high performance TF-SOFCs, proper thin film processes have to be used due to the unique requirements of each part of the TF-SOFCs. This paper reviews the thin film deposition process for fabrication of TF-SOFCs and the advantages and disadvantages of physical and chemical vapor deposition processes. In addition, materials prepared through thin film processes and the performance results of TF-SOFCs are reviewed.

목차

1. 서론
2. 박막 증착 공정(Thin Film Deposition Process)
3. 결론
REFERENCES

참고문헌 (113)

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