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E-Beam Lithography 기술
전자공학회잡지
1984 .10
PMMA LB막을 이용한 전자빔 Lithography
대한전자공학회 워크샵
1991 .01
E-beam Lithography ( Equipment )
대한전자공학회 워크샵
1989 .01
Fabrication of carbon nanostructures using electron beam lithography and pyrolysis for biosensing applications
대한기계학회 춘추학술대회
2008 .11
Device-oriented Complex Nanostructures by Block Copolymer Lithography
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2014 .04
나노사출성형용 스탬퍼 제작을 위한 Electron beam lithography 패터닝 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2005 .10
저에너지 전자빔 리소그라피의 Contrast 특성 분석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2012 .05
Current Status and Future of Electron Beam Lithography
대한전자공학회 학술대회
1997 .01
IAAL을 통한 다층 3차원 나노 구조물의 제작
대한기계학회 춘추학술대회
2014 .11
ADVANCED LITHOGRAPHY
ICVC : International Conference on VLSI and CAD
1995 .01
A New Simulation Model of Electron Beam Lithography for Manufacturing
대한전자공학회 학술대회
1998 .01
Vertically Oriented Nanostructures of Star-Shaped PMMA-b-PS Thin Film
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2014 .10
Lithography 기술과 Trend에 대한 고찰
전자공학회지
2001 .08
Graphene Film as Neutral Layer of PS-b-PMMA for Block Copolymer Lithography
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2011 .10
E-beam lithography 를 이용한 0.1μm NMODFET 제작 ( The Fabrication of the 0.1μm NMOSFET by E-beam Lithography )
전자공학회논문지-A
1994 .01
Fabricating Sub-10 nm Nanostructures by Using PS-b-PMMA based Triblock Copolymer
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2016 .10
Fabrication of 3D-Nanostructures over 100 μm-thick
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2017 .04
Fabrication of various silicon nanostructures via nanopatterned polymer lithography
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2011 .10
PMMA의 동적 인장 거동 ( Dynamic tensile behavior of PMMA )
대한기계학회 춘추학술대회
2001 .06
Crack : A Nanostructure
대한기계학회 춘추학술대회
2012 .05
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