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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
노현석 (인천대학교) 우인성 (인천대학교) 황명환 (인천대학교) 우정환 (Texas A&M 대학교)
저널정보
한국가스학회 한국가스학회지 한국가스학회지 제22권 제1호
발행연도
2018.2
수록면
78 - 85 (8page)

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본 연구를 통하여 반도체 · FPD 제조설비 및 클린룸에 관련한 설비의 위험성분석과 그에 대한 근원적인 안전대책을 연구하고, 설비 및 환경의 특수성을 고려한 방폭 설계 모델링화를 검토하여 관련 설비의 설계 및 제작에 기술적인 기준과 근거로 활용하고자 하며, 아래와 같은 성과로서 향후 반도체 · FPD 산업의 기술적 기준 수립 및 관련 산업에 기여할 것으로 생각한다.
1) 관련 국제 기술규격과 법령, 설비의 특성을 반영한 FAB 장비의 최적화된 폭발위험장소의 모델링 도출
2) FAB 장비 및 클린 룸의 특성을 고려한 위험설비의 안전성 확보 (Fool-Proof와 Fail Safe)를 위한 안전시스템 구축방안과 안전기준 및 대책 도출
3) 향후 FAB 장비의 방폭 설계에 대한 가장 효율적인 기준 적용을 통한 신규 FAB 장비의 방폭 성능의 유연성 확보하고 수립된 안전기준을 통한 설비와 안전시스템의 신뢰성 검증 절차 운영을 위한 『안전인증제도』 의 자율적 향상화

목차

요약
Abstract
1. 서론
2. 이론적 배경
3. 공정의 위험성 분석과 폭발위험장소의 설정
4. 위험특성 분석 및 폭발위험장소 모델링 결과 고찰
5. 결론
REFERENCES

참고문헌 (6)

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