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저자정보
윤여홍 (한국안전전문기관협의회) 박교식 (명지대학교) 김태옥 (명지대학교) 신동민 (명지대학교)
저널정보
한국위험물학회 한국위험물학회지 한국위험물학회지 제3권 제1호
발행연도
2015.6
수록면
59 - 64 (6page)

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Semiconductor industry has large number of chemical inventory and is easily exposed to chemical release incidents. Toxic release is one of the most interested area in evaluating consequence to the vicinity of industry facilities handling hazardous materials. Hydrofluoric acid is one of the typical chemical used in semiconductor facility and is selected and toxic release is evaluated to assess the risk impacted to its off-site. Accident scenarios were listed using process safety information. The scenarios having effect to the off-site were selected and assessed further according to guideline provided by Korea government. Worst case and alternative scenarios including other interested scenarios were evaluated using ALOHA. Each evaluated scenario was assessed further considering countermeasures. The results showed that the facility handling hydroflooric acid is safe enough and needed no further protections at the moment.
#Semiconductor industry #Toxic release #Hydrofluoric acid #Off-site risk assessment #Worst case scenario #Alternative scenario

목차

Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 평가대상 정의
Ⅲ. 공정 위험성 분석 및 시나리오 선정
Ⅳ. 안전성 확보 방안
Ⅴ. 결론
참고문헌

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