청정환경용 정전기 제거장치 개발

정종혁; 우동식

추천

검색

질문

자료유형: 학술저널

저자정보: 정종혁 (경운대학교) 우동식 (경운대학교)

저널정보: 한국산학기술학회 한국산학기술학회 논문지 한국산학기술학회논문지 제19권 제1호

발행연도: 2018.1

수록면: 603 - 608 (6page)

이용수

📌

연구주제

📖

연구배경

🔬

연구방법

🏆

연구결과

초록· 키워드

오류제보하기

전압 인가식 제전방식이 반도체나 디스플레이 산업에는 가장 많이 사용되고 있지만, 방전에 의한 주변 미세 먼지의 흡착 및 전극핀의 오염으로 불량 발생의 원인을 제공하므로, 주기적인 관리 비용이 발생하게 된다. 전극핀의 오염 문제는 코로나 방전으로 인하여, 주변 공기의 미세한 입자를 축적함으로 생성된다. Fuzz ball의 생성은 전극핀의 마모를 촉진 시키고, 또한 정전기 제거 장치의 성능을 저하시킨다. 오염물 제거 방법은 수동 브러쉬 및 자동 브러쉬를 이용하여 기계적인 세척방법이 효과적이지만, 추가적인 기계부품이나 사용자의 관리를 요구한다. 일부의 경우에는 이미터에 축척된 오염물이 웨이퍼나 제품에 전이될 수도 있다. 이러한 문제를 해결하기 위해, 제전기의 외부로 돌출되는 전극핀을 없애고, 이온탱크 내부에 위치한 텡스텐 전극선을 이용하여 주위 기체 분자를 직접 이온화할 수 있는 청정 환경에 적합한 정전기 제거 장치를 개발하였다. 한국기계연구원에서 시험인증한 결과, 오염 입자는 평균 0.7572 particles/ft³이고, 제전 시간은 2초 이하 이며, 잔류 전위는 7.6V로 만족할 만한 결과를 얻었다.

#Clean room #Emitter #Fuzz ball #Ionizer #Tensuten wire

참고문헌 (12)

참고문헌 신청

Sakata S, Okada T : Contamination-Free Ionizer for Super Clean Rooms, 1991. Adachi T, Kawasaki M, Nakabayashi H: The Behavior of Dust Particle in Electrostatic Precipitation, 1979. M. Goldman, A. Goldman and R. S. Sigmond, “The corona discharge, its properties and specific uses”, Pure & Appi. Chem., vol. 57, no. 9, pp. 1353-1362, 1985. DOI: https://doi.org/10.1351/pac198557091353 Arnold Steinman, “The Physics of Charge Neutralization by Air Ions”, Compliance Engineering 23, no. 1, 2006. Ohmi T, Inaba H and Takenami T : Research on adhesion of particles to charged wafers critical in contamination control, 1989.

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

정종혁

소속기관 경운대학교

주요연구분야 공학 > 공학 일반 공학 > 전기전자공학 > 정보통신공학

논문수 14 이용수 1,046

우동식

소속기관 대구가톨릭대학교

주요연구분야 공학 > 공학 일반 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 26 이용수 4,773

이 논문과 함께 이용한 논문

최적 R파 검출 기반의 R피크 패턴과 RR간격을 통한 조기심실수축 분류

조익성 , 권혁숭 한국정보통신학회논문지 2018 .02

A Class Diagramming Tool for Visualizing the Latest Revision of Software Change History

심재경 , 조희태 , 박종열 외 1명 Journal of KIISE 2018 .02

공포영상 및 소음자극에 의한 스트레스의 전기피부반응, 심박변이도 및 뇌파 해석

김민수 , 조영창 전기전자학회논문지 2017 .12

야간 영상에서의 빛 번짐 현상을 이용한 교통신호등 인식

김민기 멀티미디어학회논문지 2017 .12

심전도신호 샘플링 주파수에 따른 R파 검출 최적 문턱치 설정

조익성 , 권혁숭 한국정보통신학회논문지 2017 .07

최근 본 자료

전체보기

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2018-505-001758853

구분	그룹	데이터 항목
AI 학습용 데이터	원문	원문 PDF 파일
AI 학습용 데이터	원문 + 메타 (기본/상세)	원문 PDF 파일 및 서지정보 CSV
대량 구매용 데이터	B2B 구독 방식	특정 자료 한정으로 원문 접근 권한 부여
대량 구매용 데이터	URL 전달 방식	바로 PDF 뷰어를 열람할 수 있는 URL 제공

구분	그룹	데이터 항목
AI 학습용 데이터	기본 메타	발행기관명, 간행물명, 권호명, 권(vol), 호(issue), 통권, 발행연도, 발행월, 논문명, 저자명, 시작페이지, 종료페이지, 전체페이지, 상세페이지URL
상세 메타 데이터	발행기관 메타	발행기관 이명, 영문명, 창립연도, 홈페이지URL, 발행기관 소개
	간행물 메타	부제목, 간행물 유형, ISSN, ISBN, 최초발행연도, 폐간연도, 간행빈도, 발행주기, 등재사항, 이용수, 피인용수, 권호수, 논문수, 표지이미지
	논문 메타	작성 언어, 부제목, 대등제목, 목차, 키워드, 초록, 이미지, 참고문헌, 이용수, 피인용수, 논문활용도, DBpia통합주제분류, KDC분류, DDC분류, 한국연구재단분류, UCI, DOI
	저자 메타	소속기관, 소속부서, 직급, 연구분야, 연구키워드, 이용수, 피인용수, 저자 논문활용도

구분	그룹	데이터 항목
※ 결합형/맞춤형 메타 데이터는 신청 내용에 따라 다양하게 제공 가능
이용순위 정보	주제분야별 많이 이용된 논문	“인문학”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	이용기관별 많이 이용된 논문	“중고등학교”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	세부기관별 많이 이용된 논문	“서울대학교”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	키워드별 많이 이용된 논문	“Chat GPT”에서 많이 이용된 논문 TOP100
키워드 정보	많이 이용된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 이용된 키워드
	많이 발행된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 발행된 키워드
	많이 검색된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 검색된 키워드
	연구 트렌드 키워드	특정 키워드 연관 연구동향 분석 데이터 키워드

논문 기본 정보

초록· 키워드

AI 요약

연구주제

연구배경

연구방법

연구결과

주요내용

목차

참고문헌 (12)

함께 읽어보면 좋을 논문

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

최근 본 자료

댓글(0)