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최정열 (서울시립대학교) 박철규 (서울시립대학교) 최중호 (서울시립대학교)
저널정보
대한전자공학회 전자공학회논문지 전자공학회논문지 제54권 제12호(통권 제481호)
발행연도
2017.12
수록면
81 - 87 (7page)
DOI
10.5573/ieie.2017.54.12.81

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본 논문에서는 캐패시턴스 센서의 정밀한 측정을 위한 고해상도, 저잡음 캐패시턴스 디지털 신호 변환기를 제안한다. 제안한 변환기는 캐패시턴스 센싱 증폭기, 16-bit 2차 Incremental ADC, 온도에 따라 변하는 입력 캐패시턴스 센서의 특성을 보정하기 위해 필요한 온도 센서와 캐패시턴스 센서의 비선형성을 보정하기 위한 DSP로 구성되었다. 또한, 제안된 변환기에서 센서의 선형성 보정을 검증하고, DC 잡음 성능 측정을 위한 테스트용 캐패시터 어레이가 구현되었다. 이를 통해 측정되어진 input-referred 잡음은 7.17aF의 성능을 보여준다. 제안한 변환기는 5V 1-폴리 4-메탈 CMOS 공정을 사용하여 제작되었다.

목차

요약
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 제안된 캐패시턴스 디지털 신호 변환기
Ⅲ. 실험
Ⅳ. 결론
REFERENCES

참고문헌 (7)

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